南洋理工大学绿色电子理学硕士课程是一个高度专业化的项目，是由南洋理工大学与慕尼黑工业大学联合办学，旨在培养专业的工程师和技术人员，为他们以后进入硅片制造行业或者继续深入研究绿色电子打下坚实的基础。
| 序号 | 课程介绍 | Curriculum |
| 1 | 微细加工技术 | Microfabrication Technology |
| 2 | 质量与可靠性工程 | Quality and Reliability Engineering |
| 3 | 现代半导体器件 | Modern Semiconductor Devices |
| 4 | 实验1：半导体工艺与器件模拟 | Laboratory 1: Semiconductor Process and Device Simulation |
| 5 | 实验2：纳米元件的设计与模拟 | Laboratory 2: Design and Modelling of Nanodevices |
| 6 | 集成电路制造 | Integrated Circuit Manufacturing |
| 7 | 光机电测量系统 | Optomechatronic Measurement Systems |
| 8 | 物理电子学 | Physical Electronics |
| 9 | 集成电路封装 | Integrated Circuit Packaging |
| 10 | 失效机理与设备特性 | Failure Mechanisms and Device Characterization |
| 11 | 超大规模集成化技术 | ULSI Technology |
| 12 | 射频硅电子 | RF Silicon Electronics |
| 13 | 模拟电路的仿真与优化 | Simulation and Optimization of Analog Circuits |
| 14 | 纳米电子学 | Nano-electronics |
| 15 | 高等场效应晶体管与新型设备 | Advanced MOSFET and Novel Devices |
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