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美国大学电气工程专业分支—微结构简介

美国大学电气工程(Electrical Engineering 简称EE)是现代科技领域中的核心学科之一,更是当今高新技术领域中不可或缺的关键学科。美国大学电气工程专业包括很多分支,每个分支的研究方向又是不相同的。下面就来看一下美国大学电气工程专业分支—微结构简介吧。

美国大学电气工程专业分支—微结构

作为微电子学革命的发源学科,固体电子学技术现在又产生了另一个新的重要的技术领域--微机电系统?Micro-Electro- Mechanical Systems(MEMS)。MEMS是一个极端多学科交叉的领域,对许多工程与科学领域有重大影响,尤其是电气工程,机械工程,生物工程等等。最近的研究表明微加工(Micromaching)为推动化学工程、材料工程、生物学、物理化学的前沿发展提供了强大的工具。

MEMS的最基础方面是微制备技术的加工知识,制造微小结构的方法。正是MEMS技术使我们能够制造超声微喷流(Microjet)和微米尺度 电机,能在一硅晶片上制造纳米尺度扫描隧道显微镜(nanoscale scanning tunneling microscopes),能制作用于测量精细胞活性的微迷宫。

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